薄膜電阻測試
薄膜電阻測試方法是一種用于測量薄膜材料電阻值的實驗方法。這種測試方法通常用于評估薄膜材料的導電性能和電阻率等電學性質。上海復達檢測技術集團多年技術積累,需要檢測薄膜電阻歡迎聯系咨詢,專業團隊為您服務。
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薄膜電阻測試等。
四探針法是基于惠斯通電橋原理的一種測試方法。在實驗中,四個探針按照一定的間距排列,其中兩個探針作為電流源,另外兩個探針作為電壓表。當電流源向薄膜材料施加電流時,會產生電壓降,從而在電橋中產生電壓。通過測量電橋中的電壓,可以計算出薄膜材料的電阻值。 其實驗步驟如下:
1. 準備實驗器材:四探針測試儀、薄膜樣品、電極夾具、穩壓電源、電學測量儀表等。
2. 將薄膜樣品放置在電極夾具中,確保樣品表面平整無瑕疵。
3. 將四探針測試儀連接到穩壓電源和電學測量儀表上。
4. 將四探針探頭與薄膜樣品接觸,調整探針間距,使其與樣品尺寸相適應。
5. 打開穩壓電源,向薄膜樣品施加電流,觀察電學測量儀表的讀數。
6. 記錄實驗數據,包括電流值、電壓值和探針間距等。
7. 根據實驗數據計算薄膜材料的電阻值。
1、GB/T 6616-2009 半導體硅片電阻率及硅薄膜薄層電阻測試方法 非接觸渦流法
2、KS L 1619-2013(2018 四探針陣列導電陶瓷薄膜電阻率測試方法
3、GB/T 6616-2023 半導體晶片電阻率及半導體薄膜薄層電阻的測試 非接觸渦流法
4、GB/T 22586-2008 高溫超導薄膜微波表面電阻測試
5、BS IEC 62951-6:2019 半導體器件 柔性和可拉伸半導體器件 柔性導電薄膜方塊電阻的測試方法
6、ASTM D3633-98 薄膜鋪面系統電阻率的測試方法
7、ASTM F374-00 用單型程序直列式四點探針法測定硅外延層、擴散層、多晶硅層和離子注入層的薄膜電阻的測試方法
8、DB32/T 4378-2022 襯底表面納米、亞微米尺度薄膜 方塊電阻的無損測試 四探針法
9、KS I 3210-2016(2021 薄膜過濾水電阻率恢復特性的測試方法
10、KS L 1620-2013(2018 用于測量導電陶瓷薄膜用范德堡法的電阻率的測試方法
11、KS L 1619-2013(2023 用四點探針陣列測試導電陶瓷薄膜電阻率的方法
12、EIA_ECA-887-A-2007 薄膜電阻網絡規范
13、ASTM F390-11 用共線四探針法測定金屬薄膜的薄膜電阻的標準試驗方法
14、GB/T 6616-1995 半導體硅片電阻率及硅薄膜薄層 電阻測定 非接觸渦流法
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2、寄樣(郵寄樣品支持上門取樣);
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5、簽約(雙方確定--簽訂保密協議);
6、完成實驗(出具檢測報告,售后服務)。
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