客戶背景

2021年12月，某公司委托我們對(duì)他們生產(chǎn)的陶瓷塊進(jìn)行表面分析，判斷是否被污染，經(jīng)過和客戶溝通之后，提供了解決方案，做二次離子質(zhì)譜和sem的點(diǎn)掃進(jìn)行識(shí)別判斷，判斷了表面污染的離子情況，并且經(jīng)過后續(xù)溝通，再繼續(xù)做ICPMS，進(jìn)而判斷佐證里面還有的金屬雜質(zhì)元素含量情況。

樣品名稱

sic陶瓷塊

客戶需求

進(jìn)行表面污染雜質(zhì)分析。

解決方案

1.1、SIMS測(cè)試

分析原理：飛行時(shí)間-二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS），是一種非常靈敏的表面分析技術(shù)。它利用一次離子激發(fā)樣品表面微量的二次離子，根據(jù)二次離子飛行到探測(cè)器的時(shí)間不同來測(cè)定離子質(zhì)量。由于TOF-SIMS中離子飛行時(shí)間只依賴于它們的質(zhì)量，故其一次脈沖就可得到一個(gè)全譜，離子利用率很高，能實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品幾乎無損的靜態(tài)分析。一次離子將其部分能量傳遞給晶格原子，這些原子中有一部分向表面運(yùn)動(dòng)，并把能量傳遞給表面離子使之發(fā)射，這種過程成為粒子濺射。電離的二次粒子（濺射的原子、分子和原子團(tuán)等）按質(zhì)荷比實(shí)現(xiàn)質(zhì)譜分離。

結(jié)果分析：對(duì)樣品表面進(jìn)行300*300um進(jìn)行SIMS正模式、負(fù)模式掃描測(cè)試，得到結(jié)果如下：

1.2、SEM點(diǎn)掃測(cè)試：

采用掃描電子顯微鏡對(duì)圓片表面進(jìn)行點(diǎn)掃測(cè)試，測(cè)定其表面元素的種類含量

（備注：SEM點(diǎn)掃結(jié)果是相對(duì)定量，不是絕對(duì)定量，可以做對(duì)比分析來看）。

客戶反饋

和客戶講解了測(cè)試原理，客戶對(duì)結(jié)果也很滿意，有助于他們做后續(xù)研究。